德研究用等离子紫外线加工芯片

1999-05-07　来源：生活时报　我有话说

据新华社波恩5月5日电德国弗劳恩霍夫激光研究所日前宣布，他们已研制成大功率等离子紫外线光源，用它可以在微芯片上蚀刻纳米级线宽的电路。

研究人员克劳斯·贝尔格曼说，这一等离子体紫外线光源的功率可以达到100兆瓦，是目前世界上同类光源中功率最大的。它负荷稳定，而且发光重复频率可以达到数千赫兹，这些特性在应用中有特别重要的意义。

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